Датчики Д-1 представляют собой чувствительные
элементы (ЧЭ) для измерения концентраций: водорода, дейтерия, сероводорода, двуокиси азота, этилмеркаптана, хлора и аммиака.
Основным элементом датчика является МДП (металл-диэлектрик-полупроводник) - структура типа
Pd-Ta2O5-SiO2-Si,
электроемкость которой изменяется при взаимодействии с газом. Технология изготовления ЧЭ представляет собой
сочетание микроэлектронной технологии изготовления транзисторов и лазерной
технологии напыления тонких пленок. ЧЭ можно использовать для определения
концентраций любого из перечисленных газов в диапазоне температур окружающей
газовой среды от –30 до +40°С с влажностью от 30 до 90% при 30°С.
Фотография датчиков приведена на рисунке. В таблице указаны характеристики
датчиков для каждого из перечисленных газов.
Газ
Диапазон измеряемых концентраций, ppm
Времена отклика, τ0.9, мин
Времена релаксации, τ0.1, мин
Рабочая температура, °C
Срок службы ЧЭ, год
Cl2
0,001 - 10
10
10
100 - 190 *
2
H2S
0,005 - 0,3
5
15
120
1
NO2
0,01 - 10
10
20
100 - 190 *
2
C2H5SH
0,01 - 0,3
5
15
120
1
H2, D2
10-1 - 104
0,1 - 5
0,1 - 5
100
5
NH3
0,02 - 10
8
20
100 - 190 *
2
* ЧЭ в газоанализаторе циклически нагревается с рабочей температуры 100°C до 190°C.
Сигнал измеряется в момент охлаждения датчика до 100°C.
Датчик концентраций водорода с малой потребляемой мощностью
.jpg)
