Датчик концентраций водорода с малой потребляемой мощностью
 Датчик взрывоопасных концентраций водорода
 Газоанализаторы водорода                             
 Газоанализатор сероводорода                      
 Газоанализатор двуокиси азота                    
 Газоанализатор аммиака                              
 Сенсорный обнаружитель взрывчатых веществ                      
 Портативный водородный течеискатель ВТ-2                              
 Портативный газоанализатор водорода ВГ-2                              
 Портативный газоанализатор водорода ВГ-5                              
 Статьи за 2003 г. 
 Статьи за 2004 г. 
 Статьи за 2005 г. 
 Статьи за 2006 г. 
 Статьи за 2007 г. 
 Статьи за 2008 г. 
 Статьи за 2009 г. 
 Статьи за 2010 г. 
 Статьи за 2011 г. 
 Статьи за 2012 г. 
Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ"

Кафедра физики твердого тела и наносистем
Лаборатория "Разработка и исследование сенсоров на основе МДП-структур"

МДП-сенсоры Д-1

   Датчики Д-1 представляют собой чувствительные элементы (ЧЭ) для измерения концентраций: водорода, дейтерия, сероводорода, двуокиси азота, этилмеркаптана, хлора и аммиака. Основным элементом датчика является МДП (металл-диэлектрик-полупроводник) - структура типа МДП-сенсоры Д-1 Pd-Ta2O5-SiO2-Si, электроемкость которой изменяется при взаимодействии с газом. Технология изготовления ЧЭ представляет собой сочетание микроэлектронной технологии изготовления транзисторов и лазерной технологии напыления тонких пленок. ЧЭ можно использовать для определения концентраций любого из перечисленных газов в диапазоне температур окружающей газовой среды от –30 до +40°С с влажностью от 30 до 90% при 30°С. Фотография датчиков приведена на рисунке. В таблице указаны характеристики датчиков для каждого из перечисленных газов.

Газ Диапазон измеряемых концентраций, ppm Времена отклика, τ0.9, мин Времена релаксации, τ0.1, мин Рабочая температура, ºС Срок службы ЧЭ, год
Cl2 0,001 - 10 10 10 100 - 190 * 2
H2S 0,005 - 0,3 5 15 120 1
NO2 0,01 - 10 10 20 100 - 190 * 2
C2H5SH 0,01 - 0,3 5 15 120 1
H2, D2 10-1 - 104 0,1 - 5 0,1 - 5 100 5
NH3 0,02 - 10 8 20 100 - 190 * 2

* - ЧЭ в газоанализаторе циклически нагревается с рабочей температуры 100ºС до 190ºС. Сигнал измеряется в момент охлаждения датчика до 100ºС.

Rambler's Top100
Aqula © 2005-2010