Датчик концентраций водорода с малой потребляемой мощностью
 Датчик взрывоопасных концентраций водорода
 Газоанализаторы водорода                             
 Газоанализатор сероводорода                      
 Газоанализатор двуокиси азота                    
 Газоанализатор аммиака                              
 Сенсорный обнаружитель взрывчатых веществ                      
 Портативный водородный течеискатель ВТ-2                              
 Портативный газоанализатор водорода ВГ-2                              
 Портативный газоанализатор водорода ВГ-5                              
 Статьи с 2020 г. по настоящее время 
 Статьи за 2010-2019 гг. 
 Статьи за 2000-2009 гг. 
Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ"

Кафедра физики твердого тела и наносистем
Лаборатория "Разработка и исследование сенсоров на основе МДП-структур"

МДП-сенсоры Д-1

   Датчики Д-1 представляют собой чувствительные элементы (ЧЭ) для измерения концентраций: водорода, дейтерия, сероводорода, двуокиси азота, этилмеркаптана, хлора и аммиака. Основным элементом датчика является МДП (металл-диэлектрик-полупроводник) - структура типа МДП-сенсоры Д-1 Pd-Ta2O5-SiO2-Si, электроемкость которой изменяется при взаимодействии с газом. Технология изготовления ЧЭ представляет собой сочетание микроэлектронной технологии изготовления транзисторов и лазерной технологии напыления тонких пленок. ЧЭ можно использовать для определения концентраций любого из перечисленных газов в диапазоне температур окружающей газовой среды от –30 до +40°С с влажностью от 30 до 90% при 30°С. Фотография датчиков приведена на рисунке. В таблице указаны характеристики датчиков для каждого из перечисленных газов.

Газ Диапазон измеряемых концентраций, ppm Времена отклика, τ0.9, мин Времена релаксации, τ0.1, мин Рабочая температура, °C Срок службы ЧЭ, год
Cl2 0,001 - 10 10 10 100 - 190 * 2
H2S 0,005 - 0,3 5 15 120 1
NO2 0,01 - 10 10 20 100 - 190 * 2
C2H5SH 0,01 - 0,3 5 15 120 1
H2, D2 10-1 - 104 0,1 - 5 0,1 - 5 100 5
NH3 0,02 - 10 8 20 100 - 190 * 2

* ЧЭ в газоанализаторе циклически нагревается с рабочей температуры 100°C до 190°C. Сигнал измеряется в момент охлаждения датчика до 100°C.

Rambler's Top100
Aqula © 2005-2024